实际上,激光头其实就是个大功率的电子显微镜,它发出的光不仅可以成像,能量还足以刻蚀物体表面。
而电子显微镜是核心部件是电磁透镜,它用电磁原理来偏移光头产生的光束,达到类似光学透镜效果,
但控制它焦距的,其实是磁性大小,也就是产生磁力的电磁线圈里的电流大小,
所以,光头的电子束,完全可以通过电磁透镜进行拐弯,实现精确的偏转度,因而机械精度并没不需要那么高!
很多人隐隐觉得龙国机械精度不够,因而绝不可能有最精密的光刻机,这实在是太多虑了!
电子透镜的精度,其实只决定于光源的波长,跟机械精度没关系!
科技进步能用先进原理和设计方法,碾压煮饭仙人的旧工艺!
说得容易,李三彪和老罗搞定了一切,已经过了两个礼拜,终于开始正式测试了。
李三彪装入涂有光刻胶的掩膜,调节电镜,优化一番电镜参数,通过电镜控制窗口设置400微米曝光场,然后将工件台精确调整到调整到电镜下面。
在紧张地呼吸声中,李三彪用这台国产机器开始它的第一次实验。
仔细对掩膜聚焦后,暂时关闭了电子束。在曝光窗口设定合适的曝光参数,开始第一次曝光。
取出掩膜显影,在光学显微镜下观察一番,当检查无误后,进行第二层曝光。
芯片或者掩膜一共有很多层,每一层出现瑕疵,这个产品便已经作废。
过去废品率非常高,还是摩托罗拉70年代初在发明6800芯片时,技术有了突破,芯片才可以量产,而在这之前,芯片生产时废品率高达95%。
李三彪这个掩膜一共四层,加上其他结构,需要七八次曝光。
第一个样品,在第五次曝光出现了瑕疵,烧掉了一大部分晶体区,宣告失败。
曝光过度了,说明此光刻胶无法承受预定的曝光参数,需要降低光头功率。
经过四五次尝试,李三彪和老罗终于掌握了光刻胶与电子束的曝光关系,刻出了第一只全国产掩膜!
经过多人用光镜电镜的反复检验,证明这只掩膜是完美无缺的!
老罗四十多岁的汉子,竟然流出了纵横的泪水。
“太好了,我们总算在之前看到了国产掩膜,这下我死也甘心了!”
李三彪道;“罗总您先去看病吧,我们还要研究国产光刻设备呢,您一定能活着看到!”
罗建福不肯相信,道:“癌症是不治之症,我不愿意耽误时间,浪费国家的钱,你们让我也加入光刻机的研究组吧!”
李三彪和沈田惠一阵无奈,实在不忍心冷了老罗的心,只要同意了。
沈田惠道:“其实别的单位有了不少光刻机,我们也不用从头研制,”
李三彪问道:“我们目前有什么国产光刻设备?水平如何?您都见过吗?”
沈田惠有点为难,道:“我觉得,这些设备水平参差不齐,我们既然是自己使用,还是得自己研发。”