8n程工艺的专利技术对于a来说如同鸡肋,但对于bs如同神助,掌握后就能跨越1u程工艺,掌握8n程工艺技术。
拥有了193narfi准分子激光器的制造技术和8n程工艺的专利技术,但bs还不能生产自主知识产权的1u程工艺的光刻机。
为了将来不被美国政府卡脖子,未雨绸缪,bs要掌握生产光刻机的三大核心技术:光源系统、光学系统和工作台系统,不断升级换代。
叮嘱邓国辉,bs光刻机光源研究所研究清楚grf准分子激光器的工作原理和制造技术,光刻机光源公司自己生产;叮嘱陈伟长,bs光刻机光学研究所自己研制成功6英寸晶圆和1u程工艺的光学镜头和反射镜头,光刻机光学公司自己生产。
孙健承诺,bs在2年内生产具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机,淘宝控股公司掏钱奖励项目组2万元;在4年内能生产一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的半导体生产线,他从淘宝控股公司持有的bs股份中,拿出2万股奖励给做出重大贡献的科技和生产人员,但在规定时间内,完不成任务,就开始裁员!
奖励和裁员双管齐下,管理层、技术人员和普通员工的压力剧增。
邓国辉拿到arf准分子激光器专利技术,同钱富强仔细研究一番后,如醍醐灌顶,豁然开朗,申请2万元的研发经费,带领光刻机光源研究所按照a提供的技术图纸,消化吸收arf准分子激光器的专利技术……
1995年2月,经过一年半的攻关,光刻机光源公司生产出一台6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机。
1995年9月,bs生产了一条有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的半导体生产线,填补了国内技术空白,打开了国内市场,终于抛掉三年巨亏的不利局面,1995年度实现净利润万元。
1996年4月2日,bs拿到公开发行新股的额度,6月11日,在鹏城证券交易所公开发行了万股新股(其中1万股职工股,每股发行价6元,融资873亿元(扣除发行费用,其中8亿元用于研发8英寸晶圆和5n程工艺光刻机,73亿元用于补充公司流动资金。
当时bs研制的6英寸晶圆和8n程工艺的光刻机已经临近尾声。
“邓院长,研究院继续研发8英寸晶圆和5n艺的光刻机。”
“好的,董事长!”
“魏总,公司争取早日生产出一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和8n程工艺的半导体生产线,到时,pa率先订购一条。”
“好的,董事长!”
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“董事长,经过近2年的联合攻关,研究证实,我们用去离子水等手段,保持水的洁净度和温度,使其不起气泡,用去离子水作为介质,虽然光源波长还是用原来的193n但通过去离子水的折射,能使进入光阻的波长明显缩小,使用浸没式技术突破193n长可行,我们如今遇到的最大难题是我们自己制造的光学镜头不能满足突破193n长光刻光学器件的技术要求。”